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以下就是復(fù)合式分子泵的詳細(xì)特性所在

 
  隨著復(fù)合式分子泵的不斷改進(jìn),其應(yīng)用領(lǐng)域越來越廣,在某些抽氣系統(tǒng)上可以替代擴(kuò)散泵,縮短了系統(tǒng)的抽氣時間,并可獲得無油污染的清潔真空環(huán)境。
  復(fù)合式分子泵用來獲得高真空和超高真空,其廣泛應(yīng)用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、等離子體物理空間研究、表面物理和分析儀器、半導(dǎo)體和光學(xué)元器件制造、平板顯示、太陽能電池、真空鍍膜、真空冶煉等涉及真空技術(shù)的電子、冶金、化工、科研等眾多領(lǐng)域。
  復(fù)合式分子泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn):
  復(fù)合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合,集兩種泵的優(yōu)點(diǎn)于一體。泵在很寬的壓力范圍內(nèi)((10-6~1Pa)具有較大的抽速和較高的壓縮比,大大提高了泵的出口壓力。法國Alcatle公司生產(chǎn)的一種采用氣體靜承和動密封的復(fù)合分子泵,可以做到*無油,且不用前級泵直接向大氣中排氣。
  在復(fù)合式分子泵的設(shè)計(jì)中,必須處理好渦輪級與牽引級之間的應(yīng)配和銜接關(guān)系。由于渦輪級有較大的抽氣面積,抽速很大,而牽引級溝槽抽氣面積較小,在兩種結(jié)構(gòu)的聯(lián)接處,由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動方式突然轉(zhuǎn)變,使氣體分子的運(yùn)動在聯(lián)接處由有序變成無序,至使返流增加,抽氣能力下降。因此,在設(shè)計(jì)時應(yīng)在渦輪級和牽引級轉(zhuǎn)換處加上過渡級結(jié)構(gòu),以提高泵的抽氣性能。

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