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復(fù)合分子泵的工作原理及優(yōu)點

  復(fù)合分子泵是一種高效的真空泵,電子束加熱的方式可以提供高溫蒸汽,蒸汽通過在內(nèi)表面反彈,可以達(dá)到高度真空的效果,是用于高真空環(huán)境下的氣體和同體基發(fā)、清洗和流是傳感器測試的理想設(shè)備。復(fù)合分子泵結(jié)合了分子泵和擴散泵的特點,具有高抽速,高極限真空,積灰小,穩(wěn)定性好等特點,被廣泛應(yīng)用于銅氫氣氣化成膜、金屬蒸鍍、光刻、等離子體刻蝕、高能物理實驗、電視管制造等領(lǐng)域。
 
  復(fù)合分子泵的工作原理是利用特殊的高溫和高速度來工作的。泵啟動時,汽化器內(nèi)部的石墨材料加熱,液態(tài)或固態(tài)物質(zhì)受熱后轉(zhuǎn)化為氣態(tài)蒸汽便開始向泵頭傳導(dǎo)。泵頭形成高速旋轉(zhuǎn)氣流,氣體通過旋轉(zhuǎn)氣流進入分子泵,在分子泵內(nèi)部,氣體分子將被誘導(dǎo)成為高速勻速熱量,進一步碰撞加速,最終變成極空氣流。極空氣流將通過擴散泵進一步加速,速度將達(dá)到大于1000m/s,進而被排出到大氣中。
 
  復(fù)合分子泵因其高效率和穩(wěn)定性被廣泛應(yīng)用,優(yōu)點如下所示:
 
  1、高效率。復(fù)合分子泵的抽氣速度比桶式分子泵高,極制動距離短,積灰率低。
 
  2、高真空度。由于復(fù)合分子泵在高溫狀態(tài)下工作,所以能夠達(dá)到高真空度,是制造高精度元器件的理想設(shè)備。
 
  3、穩(wěn)定性好。復(fù)合分子泵的泵頭組件的部件都進行精密加工,潤滑,從而降低了因摩擦和磨損而造成的振動和噪音。
  
 
  總之,復(fù)合分子泵是目前高真空技術(shù)中應(yīng)用很廣泛的真空泵浦之一,能夠提供穩(wěn)定、高效、可靠的工作,助力實驗室研究和工業(yè)制造。

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