真空擋板閥有高真空擋板閥和超高真空擋板閥兩種。高真空擋板閥用于高真空系統(tǒng)接通或截止氣流。適用壓力范圍：軸封為橡膠時(shí)為1.3×10-4～105Pa；軸封為波紋管結(jié)構(gòu)時(shí)為1.3×10-5～105Pa。工作介質(zhì)溫度：-25～80℃（密封件為丁橡膠）；-30～150℃(密封件為氟橡膠)。閥體材料：碳鋼鍍鎳或不銹鋼；閥板密封材料腈橡膠或氟橡膠。

　　超高真空擋板閥用于超高真空系統(tǒng)接通或截止氣流。適用壓力范圍為1.3×10-3～105Pa。閥門(mén)開(kāi)啟狀態(tài)，烘烤溫度小于400℃；閥體材料為不銹鋼；閥板材料為無(wú)氧銅；軸封處密封件材料為不銹鋼波紋管。這兩種真空擋板閥使用的工作介質(zhì)為潔凈的空氣或?qū)﹂y門(mén)無(wú)腐蝕的干凈氣體。不適合用在對(duì)金屬有強(qiáng)腐蝕性和含有顆粒狀態(tài)灰塵的氣體情況下長(zhǎng)期使用。

　　高真空擋板閥由于具有密封可靠、流導(dǎo)大、安全性好以及可手控、電控、氣控等特點(diǎn)，形式多樣，規(guī)格齊全，公稱(chēng)尺寸DN150～1200，結(jié)構(gòu)合理等，因此，被廣泛用于大、中型多種高真空裝置的真空系統(tǒng)之中，如用于真空鍍膜設(shè)備，真空熱處理爐、真空釬焊、高真空電子束焊機(jī)、離子束刻蝕設(shè)備、空間環(huán)模設(shè)備等。